大理石平尺的精度參數稱為平面度，用直線度來表征。這是考慮到直線度與平面度本是一個范疇。在給定平面內直線度是指圓柱或圓錐體母線、刀刃直線以及平面在一定方向上的形狀誤差；平面度是指平面在任一方向上多個截面直線度綜合其相關聯系而得到的形狀誤差。又由于研磨面平尺主要用其平面來檢定刀口形直尺的直線度，且研磨面平尺長度比起它的寬度大得多，故研磨面平尺工作面是一個窄而長的平面，它長度方向的形狀誤差比其寬度方向的形狀誤差大得多，因此可將長度方向上的直線度看成是研磨面平尺工作面的平面度，所以規程稱其為平面度，數據按直線度處理。